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在半導(dǎo)體制造、微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工以及納米薄膜制備等精密工藝中,烤膠臺扮演著重要的角色。無論是光刻膠的前烘、堅膜,還是曝光后烘烤(PEB),溫度的均勻性、穩(wěn)定性以及升降溫速率直接決定了產(chǎn)品的良率與性能。一、散熱瓶頸:為何需要更強的散熱能力?烤膠臺的核心功能雖然是“加熱”...
光刻烤膠機(jī)是—種設(shè)計為控溫、準(zhǔn)確計時和接近式加熱的高性能實驗窒設(shè)備,可實現(xiàn)智能化編程烤膠控制。采用分體式設(shè)計,確??刂撇考h(yuǎn)離熱源。面板采用不銹鋼鍍陶瓷面板,耐高溫不變色。外殼采用不銹鋼鍍膜處理,耐氧化變色。加熱部件采用高溫加熱盤管,具有使用壽命長,加熱均勻性高的特點。調(diào)壓電熱板是用電熱合金絲作發(fā)熱材料,用云母軟板作絕緣材料,外包以薄金屬板進(jìn)行加熱的設(shè)備。廣泛應(yīng)用于樣品的烘干、干燥和作其他溫度試驗,是生物、遺傳、環(huán)保、生化實驗室、分析室。工作中遇到烤膠機(jī)設(shè)備使用大家不知道怎樣...
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